Turbomolekularpumpe und Flansch

EP1413761 Art B1 10. Dezember 2008

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited, BOC Edwards Technologies, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1413761
Aktenzeichen
EP03256507
Anmeldetag
15. Oktober 2003
Veröffentlichung
10. Dezember 2008
Erteilung
10. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
BOC Edwards Technologies, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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