Verfahren und Einrichtung zur Erkennung eines Arbeitsmakels
EP1413877
Art A1
28. April 2004
Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD., NTT ADVANCED TECHNOLOGY CORPORATION, NTT Advanced Technology Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1413877
- Aktenzeichen
- EP02745901
- Anmeldetag
- 10. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 28. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01M11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
NTT ADVANCED TECHNOLOGY CORPORATION
NTT Advanced Technology Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
290 Patente in unserer Datenbank