Verfahren zum Schutz von zur Befestigung von optischen Elementen verwendeten Klebern vor ultra-violettem Licht

EP1413907 Art A1 28. April 2004

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Holding, N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1413907
Aktenzeichen
EP03021738
Anmeldetag
25. September 2003
Veröffentlichung
28. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02G02B1/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Holding N.V.
ASML Holding, N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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