Optisches Projektionssystem und Belichtungseinrichtung mit dem Optischen Projektionssystem
EP1413909
Art A1
28. April 2004
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1413909
- Aktenzeichen
- EP02738617
- Anmeldetag
- 5. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 28. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/06H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Maucher Jenkins
Freiburg im Breisgau, Deutschland
Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.
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