Verfahren zur Bildung einer Feinen Struktur

EP1413927 Art A1 28. April 2004

Anmelder: Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc., DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1413927
Aktenzeichen: EP02746013
Anmeldetag: 12. Juli 2002
Veröffentlichung: 28. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039H01L21/027G03F7/023

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Daikin Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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