Elektrochemisch Aufgeraute Oberflächen in einer Vorrichtung zur Halbleiterbearbeitung
EP1415016
Art A1
6. Mai 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1415016
- Aktenzeichen
- EP02768339
- Anmeldetag
- 22. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/458C25F3/04
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Applied Materials, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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