Optische Nahfeldkorrektur für Phasenschiebermasken

EP1415197 Art B1 3. April 2013

Anmelder: Synopsys, Inc., Synopsys Merger Holdings LLC, Numerical Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1415197
Aktenzeichen
EP02778938
Anmeldetag
7. Juni 2002
Veröffentlichung
3. April 2013
Erteilung
3. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/30// G03F1/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Synopsys, Inc.
Synopsys Merger Holdings LLC
Numerical Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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