Wässrige Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren, chemisch-mechanisches Polierverfahren, Herstellungsverfahren von Halbleitervorrichtungen und Material zur Herstellung einer wässrigen Dispersion

EP1416025 Art A1 6. Mai 2004

Anmelder: JSR Corporation, Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1416025
Aktenzeichen
EP03024809
Anmeldetag
30. Oktober 2003
Veröffentlichung
6. Mai 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JSR Corporation
Kabushiki Kaisha Toshiba
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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