Verfahren zur Herstellung eines Stufenprofils aus einer Schichtfolge

EP1416527 Art A1 6. Mai 2004

Anmelder: ABB Schweiz AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1416527
Aktenzeichen: EP02405909
Anmeldetag: 23. Oktober 2002
Veröffentlichung: 6. Mai 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ABB Schweiz AG
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 ABB

Schweizerisch-schwedischer Technologiekonzern mit Sitz in Zürich. Fokussiert auf Elektrifizierung, Robotik, industrielle Automatisierung sowie Antriebstechnik für Industrie- und Energiekunden.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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