Faltungsverfahren zur Messung der Laserbandbreite

EP1417462 Art A1 12. Mai 2004

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1417462
Aktenzeichen: EP02752594
Anmeldetag: 25. Juli 2002
Veröffentlichung: 12. Mai 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/18G01J3/02G01J1/42G01J3/12G01J3/26G01J3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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