Intrisische Doppelbrechungskompensation zur Optischen Lithographie im Wellenlängenbereich von unter 200 Nanometern für Komponenten mit Kubischen Kristallstrukturen
EP1417530
Art A1
12. Mai 2004
Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1417530
- Aktenzeichen
- EP02750066
- Anmeldetag
- 16. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/14G02F1/07G02F1/1333G01J4/00G01R33/02H01J40/14G01L1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Corning
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.
8.517 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Charles, Glyndwr
München, Deutschland
563
Patente gesamt
28
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Skuhra, Udo
NoneMünchen
-
Poole, Michael John
NoneHemel Hempstead