Intrisische Doppelbrechungskompensation zur Optischen Lithographie im Wellenlängenbereich von unter 200 Nanometern für Komponenten mit Kubischen Kristallstrukturen

EP1417530 Art A1 12. Mai 2004

Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1417530
Aktenzeichen
EP02750066
Anmeldetag
16. Juli 2002
Veröffentlichung
12. Mai 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/14G02F1/07G02F1/1333G01J4/00G01R33/02H01J40/14G01L1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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