Beleuchtungssystem
EP1417541
Art A2
12. Mai 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1417541
- Aktenzeichen
- EP02754928
- Anmeldetag
- 23. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
Oberkochen, Deutschland
27
Patente gesamt
5
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte