Positioniervorrichtung, Geladenen-Teilchenstrahl-Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP1418017 Art A3 24. Dezember 2008

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1418017
Aktenzeichen
EP03255010
Anmeldetag
13. August 2003
Veröffentlichung
24. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B23Q1/62H01J37/20H01L21/00H02K41/035// G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Akustik, Musik & Datenspeicherung Medizintechnik & Gesundheit
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