Chipbearbeitungsverfahren und Einrichtung durch V-Cad-Daten

EP1418479 Art B1 26. Dezember 2007

Anmelder: RIKEN, Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1418479
Aktenzeichen: EP02758845
Anmeldetag: 14. August 2002
Veröffentlichung: 26. Dezember 2007
Erteilung: 26. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/4097B29C67/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: RIKEN
Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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