Halbleiterbauelemente und Herstellungsverfahren dafür und Plattierungslösung

EP1418619 Art A1 12. Mai 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1418619
Aktenzeichen
EP02758831
Anmeldetag
12. August 2002
Veröffentlichung
12. Mai 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L21/288C23C18/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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