Verfahren zur Kontrolle der Gleichförmigkeit einer Dünnschicht und Produkten daraus

EP1419287 Art A1 19. Mai 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1419287
Aktenzeichen: EP02759414
Anmeldetag: 19. August 2002
Veröffentlichung: 19. Mai 2004
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C14/46H01L21/00C30B25/10C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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