Buncher mit Zwei Voneinander Beabstandeten Elektroden mit Schlitzförmigen Öffnungen und Verfahren zur Ionenbündelung in einem Ionenimplantationssystem
EP1419514
Art B1
10. Dezember 2008
Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1419514
- Aktenzeichen
- EP02753518
- Anmeldetag
- 23. August 2002
- Veröffentlichung
- 10. Dezember 2008
- Erteilung
- 10. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H05H7/18G21K1/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
Patente gesamt
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Fachgebiete
10
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