Schicht bildendes Apparat und Verfahren

EP1420079 Art B8 23. August 2006

Anmelder: ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1420079
Aktenzeichen
EP03255821
Anmeldetag
17. September 2003
Veröffentlichung
23. August 2006
Erteilung
23. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/452C23C16/455C23C16/509H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ANELVA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Lyndon-Stanford, Edward W.B London, Großbritannien
29
Patente gesamt
19
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
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