Nicht-thermischer Prozess für die Herstellung poröser Filme mit niedriger Dielektrizitätskonstante

EP1420439 Art B1 29. August 2012

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1420439
Aktenzeichen: EP03025722
Anmeldetag: 10. November 2003
Veröffentlichung: 29. August 2012
Erteilung: 29. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316C23C16/40C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

906 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von