Datenverarbeitungssystem
EP1421511
Art A2
26. Mai 2004
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Device Limited, TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1421511
- Aktenzeichen
- EP02769545
- Anmeldetag
- 8. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F15/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Device Limited
TOKYO ELECTRON DEVICE LIMITED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Liesegang, Roland
München, Deutschland
387
Patente gesamt
29
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte