Laserlithographielichtquelle mit Strahlablieferung

EP1421653 Art A1 26. Mai 2004

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1421653
Aktenzeichen: EP02759404
Anmeldetag: 19. August 2002
Veröffentlichung: 26. Mai 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/23G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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