Vorrichtungen zum Abtrennen von Substraten und Zugehörige Verfahren

EP1423244 Art B9 3. Oktober 2007

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1423244
Aktenzeichen
EP02794609
Anmeldetag
24. Juli 2002
Veröffentlichung
3. Oktober 2007
Erteilung
3. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B28D1/32B28D5/00H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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