Zoomvorrichtung, insbesondere Zoomvorrichtung für eine Beleuchtungsvorrichtung einer Mikrolithographie-Projektionsvorrichtung
EP1423758
Art B1
3. Oktober 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1423758
- Aktenzeichen
- EP02758488
- Anmeldetag
- 30. August 2002
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2007
- Erteilung
- 3. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B13/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muschik, Thomas
Stuttgart, Deutschland
18
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muschik, Thomas (DE)
NoneStuttgart