Durchflussregelung für ein Prozessgas in der Halbleiterfertigung

EP1424614 Art B1 1. Januar 2014

Anmelder: PARKER HANNIFIN CORPORATION, Parker Hannifin Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1424614
Aktenzeichen
EP04003331
Anmeldetag
22. Februar 2001
Veröffentlichung
1. Januar 2014
Erteilung
1. Januar 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G05D7/06G01F25/00G01F1/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
PARKER HANNIFIN CORPORATION
Parker Hannifin Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Parker Hannifin

US-amerikanisches Unternehmen für Antriebs- und Steuerungstechnik mit Schwerpunkt auf Hydraulik, Pneumatik und Dichtungstechnik.

754 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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