Magnetischer Betätiger unter piezoelektrischer Steuerung

EP1424767 Art B1 22. Mai 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1424767
Aktenzeichen
EP03078751
Anmeldetag
28. November 2003
Veröffentlichung
22. Mai 2013
Erteilung
22. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H02N15/00H01L41/09H02N2/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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