Plattenanordnung mit einer Topgraphisch Geänderten Plattenoberfläche
EP1425136
Art A1
9. Juni 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1425136
- Aktenzeichen
- EP02763400
- Anmeldetag
- 31. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 9. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B21/06B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bucks, Teresa Anne
London, Großbritannien
415
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
NoneMünchen
-
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München