Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Nanostrukturen mit gelenkten homogenen Grössen durch CVD-Verfahren über Dielektrikum

EP1426328 Art B1 23. Mai 2018

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1426328
Aktenzeichen
EP03104318
Anmeldetag
21. November 2003
Veröffentlichung
23. Mai 2018
Erteilung
23. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/02C23C16/24C23C16/28C30B29/06C30B29/08C30B29/60H01L29/788H01L29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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