Stopperfilm zum chemisch-mechanischen Polieren, Verfahren zu seiner Herstellung und chemisch-mechanisches Polierverfahren.

EP1426424 Art A1 9. Juni 2004

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1426424
Aktenzeichen
EP03027694
Anmeldetag
3. Dezember 2003
Veröffentlichung
9. Juni 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C09D183/16H01L21/321H01L21/768B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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