Methode zur Erzeugung eines optischen Elements, lithographischer Apparat sowie Methode zur Herstellung eines Geräts

EP1426821 Art B1 18. Oktober 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1426821
Aktenzeichen
EP03257400
Anmeldetag
24. November 2003
Veröffentlichung
18. Oktober 2017
Erteilung
18. Oktober 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/24G21K1/06G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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