Zusammensetzung zur Bildung eines Antireflexfilms zur Verwendung bei der Lithographie

EP1426822 Art B1 8. April 2009

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1426822
Aktenzeichen: EP02760616
Anmeldetag: 13. August 2002
Veröffentlichung: 8. April 2009
Erteilung: 8. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08L33/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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