Ein Ätzstoppschicht und eine Hardmaske aus einer isolierenden Schicht

EP1427004 Art A3 22. Juni 2005

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1427004
Aktenzeichen
EP03027695
Anmeldetag
3. Dezember 2003
Veröffentlichung
22. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/312C09D183/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Leson, Thomas Johannes Alois, Dipl.-Ing München, Deutschland
4.590
Patente gesamt
34
Fachgebiete
21
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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