Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Tantalpentoxydschicht auf einem Trägermaterial insbesondere Titannitrid und eine Tantalpentoxydschicht erhaltende integrierte Schaltung
EP1427005
Art A1
9. Juni 2004
Anmelder: STMicroelectronics S.A. 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1427005
- Aktenzeichen
- EP03292872
- Anmeldetag
- 19. November 2003
- Veröffentlichung
- 9. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C23C16/40
Abstract
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Anmelder
- Firma
- STMicroelectronics S.A.
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇨🇭
STMicroelectronics International
Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.
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Kanzlei
Casalonga
München, Deutschland
Casalonga besteht seit 1867 und zählt zu den ältesten französischen Kanzleien für gewerblichen Rechtsschutz, mit Büros in Paris, München, Düsseldorf, Mailand und Alicante. Neben Patenten deckt sie Marken, Designs sowie Wein- und Agrarrecht ab und wird regelmäßig in der Financial-Times-Liste führender europäischer Patentkanzleien geführt.
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