Thermische Aktivierung von Gas zur Verwendung in einer Halbleiter-Behandlungskammer
EP1428907
Art A1
16. Juni 2004
Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1428907
- Aktenzeichen
- EP03256469
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/306H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE BOC GROUP, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇬🇧
The BOC Group
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
468 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wickham, Michael
Windlesham, Großbritannien
266
Patente gesamt
23
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Booth, Andrew Steven
NoneWest