Ätzverfahren und Verwendung einer Zusammensetzung zur Bildung einer Ätzschutzschicht
EP1429185
Art B1
13. Mai 2009
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1429185
- Aktenzeichen
- EP02762996
- Anmeldetag
- 4. September 2002
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2009
- Erteilung
- 13. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/11G03F7/40H01L21/027H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
2.545 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
1.493
Patente gesamt
30
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hütter, Klaus, Dr
NoneSulzbach