Ätzverfahren und Verwendung einer Zusammensetzung zur Bildung einer Ätzschutzschicht

EP1429185 Art B1 13. Mai 2009

Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1429185
Aktenzeichen
EP02762996
Anmeldetag
4. September 2002
Veröffentlichung
13. Mai 2009
Erteilung
13. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11G03F7/40H01L21/027H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd.
Land
🇺🇸 USA
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