Ätzverfahren und Verwendung einer Zusammensetzung zur Bildung einer Ätzschutzschicht
EP1429185
Art B1
13. Mai 2009
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1429185
- Aktenzeichen
- EP02762996
- Anmeldetag
- 4. September 2002
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2009
- Erteilung
- 13. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/11G03F7/40H01L21/027H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
Vertreten von
Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
1.430
Patente gesamt
30
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hütter, Klaus, Dr
NoneSulzbach