Transportwerkzeug für ein zu Prüfendes Objekt und Transportsystem für ein zu Prüfendes Objekt
EP1429379
Art A1
16. Juni 2004
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1429379
- Aktenzeichen
- EP02760707
- Anmeldetag
- 22. August 2002
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68B25J15/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gleiss, Alf-Olav
Stuttgart, Deutschland
424
Patente gesamt
31
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte