Behälter für ein Präzisionssubstrat

EP1429380 Art A1 16. Juni 2004

Anmelder: Zeon Corporation, Ohmi, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1429380
Aktenzeichen: EP02760759
Anmeldetag: 28. August 2002
Veröffentlichung: 16. Juni 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Zeon Corporation
Ohmi, Tadahiro
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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