Modularer Träger für Halbleiterwaferscheiben und Ähnlichem Inventar

EP1429976 Art A1 23. Juni 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1429976
Aktenzeichen
EP02766139
Anmeldetag
27. August 2002
Veröffentlichung
23. Juni 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B65D85/48
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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