Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
EP1430346
Art A1
23. Juni 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1430346
- Aktenzeichen
- EP02799405
- Anmeldetag
- 13. September 2002
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/08G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muschik, Thomas
Stuttgart, Deutschland
18
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muschik, Thomas (DE)
NoneStuttgart