Mit Flüssigkeitsströmung betriebener Näherungssensor für den Einsatz in der Immersionslithographie
EP1431710
Art A3
15. September 2004
Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1431710
- Aktenzeichen
- EP03029016
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 15. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B13/00G01B13/12G01B13/16G05D16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Holding N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München