Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und diese Vorrichtung
EP1431824
Art A1
23. Juni 2004
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1431824
- Aktenzeichen
- EP02080346
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/30G02F1/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Prins, Adrianus Willem
Den Haag, Niederlande
1.547
Patente gesamt
34
Fachgebiete
26
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir
NoneDen Haag