Projektionsobjektiv, insbesondere für die Mikrolithographie, sowie Verfahren zur Abstimmung eines Projektionsobjektives
EP1431826
Art A3
18. Mai 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1431826
- Aktenzeichen
- EP03027119
- Anmeldetag
- 26. November 2003
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B13/14G02B13/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Muschik, Thomas
Stuttgart, Deutschland
18
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muschik, Thomas (DE)
NoneStuttgart