Signalverarbeitungsverfahren zur In-Situ-Teilchenüberwachung mit einem Gescannten Strahl

EP1432972 Art A1 30. Juni 2004

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1432972
Aktenzeichen
EP02798193
Anmeldetag
6. September 2002
Veröffentlichung
30. Juni 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01N15/02G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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