Vorrichtung zur Konditionierung der Temperatur eines Fluids
EP1433036
Art A2
30. Juni 2004
Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1433036
- Aktenzeichen
- EP02791182
- Anmeldetag
- 26. September 2002
- Veröffentlichung
- 30. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D23/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
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