Herstellungsverfahren eines Rückseitenkontaktes auf ein Bauteil mit Gestapelten Substraten

EP1433203 Art B1 15. August 2018

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, Commissariat A L'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1433203
Aktenzeichen
EP02783186
Anmeldetag
20. September 2002
Veröffentlichung
15. August 2018
Erteilung
15. August 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/48H01L23/48G01P15/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Commissariat A L'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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