Positive Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung mit Chemischer Verstärkung
EP1434091
Art A1
30. Juni 2004
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1434091
- Aktenzeichen
- EP02800236
- Anmeldetag
- 24. September 2002
- Veröffentlichung
- 30. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/004H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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Isenbruck, Günter
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