Mehrkammervakuumanlage, Verfahren und Vorrichtung zu Ihrer Evakuierung

EP1434896 Art B1 17. November 2010

Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, Leybold Vacuum GmbH, Leybold Vakuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1434896
Aktenzeichen
EP02777255
Anmeldetag
28. September 2002
Veröffentlichung
17. November 2010
Erteilung
17. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/54C23C14/22C23C14/56F04C23/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Leybold Vacuum GmbH
Leybold Vakuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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