Vorrichtung zur Schnellen, Quantitativen, Kontaktlosen Topografischen Untersuchung von Halbleiterscheiben oder Spiegelähnlichen Oberflächen

EP1434981 Art B1 5. Juli 2006

Anmelder: Hungarian Academy of Sciences Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇭🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1434981
Aktenzeichen: EP02785145
Anmeldetag: 1. Oktober 2002
Veröffentlichung: 5. Juli 2006
Erteilung: 5. Juli 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G01B11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hungarian Academy of Sciences Research Institute for Technical Physics and Materials Science
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land: 🇭🇺 Ungarn

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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