Verfahren zur Herstellung Dünner Schichten, die Mikrokomponenten Enthalten

EP1435111 Art B1 8. Dezember 2010

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Commissariat A L'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1435111
Aktenzeichen
EP02785528
Anmeldetag
8. Oktober 2002
Veröffentlichung
8. Dezember 2010
Erteilung
8. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Commissariat A L'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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