Ein Transportmechanismus, bewegliche Transportvorrichtung für Testkarten, die eine Transportmechanismus benutzen und eine Testvorrichtung
EP1435645
Art A3
1. September 2004
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1435645
- Aktenzeichen
- EP03029655
- Anmeldetag
- 23. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 1. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G01R31/26B23Q7/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grosse, Rainer
Stuttgart, Deutschland
405
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte