Apparat zur Behandlung eines Halbleiterwafers, und Methode zur Herstellung eines Monokristallinen Siliziumwafers und Epitoxie-Siliziumwafers

EP1435652 Art A1 7. Juli 2004

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Jones, Helen M.M London, Großbritannien

946

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Medizintechnik & Gesundheit Kunststoff- & Polymertechnik Organische Chemie Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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